行業(yè)動(dòng)態(tài)
行業(yè)動(dòng)態(tài)
在半導(dǎo)體行業(yè),井式坩堝爐作為關(guān)鍵設(shè)備,其性能直接影響著產(chǎn)品的質(zhì)量。這種爐子,不僅能夠煅燒真空或惰性氣體中的高純度化合物,還能對半導(dǎo)體晶片進(jìn)行退火或擴(kuò)散處理。今天,我們就來詳細(xì)了解下這款高效、節(jié)能的井式坩堝爐。
首先,井式坩堝爐的加熱元件采用的是進(jìn)口含鉬電阻絲或者硅碳棒,保證了加熱效率。雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能化程序控溫系統(tǒng),使得爐膛溫度均衡、表面溫度低。此外,爐膛采用氧化鋁多晶體纖維材料,雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng),能快速升降溫。
在應(yīng)用方面,井式坩堝爐主要用于高校、科研院所、工礦企業(yè)進(jìn)行高純度化合物的煅燒、半導(dǎo)體晶片的退火或擴(kuò)散處理。它還能用于烘燒或燒結(jié)陶瓷材料等。
值得一提的是,這款爐子集控制系統(tǒng)與爐膛一體。保溫材料采用整體真空吸附成型,程控鑲嵌進(jìn)口電阻絲。超大口徑的石英爐腔和真空密封法蘭系統(tǒng),可在流動(dòng)氣氛和真空狀態(tài)下快速加熱樣品。
在技術(shù)層面,井式坩堝爐具有以下特點(diǎn):
1. 發(fā)熱元件采用高品質(zhì)鉬鐵鉻鋁合金,可加熱到1200℃;
2. 高精度不銹鋼針閥和真空表及真空法蘭可直接使用;
3. 內(nèi)置30段可編程精密數(shù)字溫度控制器可控制升降溫速率。
總的來說,井式坩堝爐以其高效、節(jié)能、精準(zhǔn)的特點(diǎn),成為了半導(dǎo)體行業(yè)的重要設(shè)備。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,相信這款設(shè)備會(huì)在更多領(lǐng)域發(fā)揮出更大的作用。

